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TFT-LCD液晶显示屏的主要清洗方法有湿式清洗法和干式清洗法，其中湿式清洗法包含物理清洗（包括毛刷刷洗、高压水柱冲洗、二流体喷淋、超音波（Ultrasonic,20~50kHz）清洗等方式）和化学清洗（依污染物选择溶剂，分为有机溶剂、中性洗剂、化学清洗液及纯水等）。干式清洗法包含有紫外线臭氧、雷射清洗及plasma等几种，其中又以紫外线臭氧清洗法最普遍。TFT阵列基板的清洗是各种清洗技术的综合应用，会依据清洗物和污物的性质采用不同的清洗组合方式。